真空机组的设计条件与设计步聚

(1)真空机组的设计条件
①真空室的已知参数:真空室的体积;放气的表面积;真空室的漏气量;工作真空度;极限真空度;预抽时间和达到极限真空的抽气时间等。
②真空室内的气体源情况:真空室内的大气;真空室内表面放气;真空室的动密封处、静密封处的漏气;壳体渗透气体;被处理材料放出的气体;工艺过程需要而引入的气体。
③真空室内的特殊要求:工艺过程中是否产生尘灰、金属喷溅、腐蚀性气体、水蒸气等;真空室内是否要求无油、无振动等。

(2)真空机组设计计算的一般程序
A.真空室内总放气量的计算;
B.确定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前级Parimatch最新版下载;
D.根据要求选择阀门、捕集器、除尘器等真空元件;
E.绘制真空系统装配草图，确定各部分的尺寸;
F.梢确(复核)计算各Parimatch最新版下载的参数，如果粗选的Parimatch最新版下载达不到要求，就需要重新选泵和配泵，直到满足各参数要求为止;
G.绘制真空系统装配图;
H.绘制零件图，绘制施工图。

这八条设计计算步骤是非标准设计不可缺少的。随着真空设备的不断发展，随着各种新型的真空机组的不断出现，真空系统设计过程会不断简化.现在已有定型真空机组，若可以直接选择定型真空机组来获得所需真空系统，便可省去麻烦的真空系统设计。

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